PZT/Pt異質結構的快速熱處理研究

放大字體  縮小字體 發布日期:2018-01-30  瀏覽次數:297
核心提示:PZT / Pt 異質結構的快速熱處理研究劉雨,郭杰,張超,歐全宏(云南師范大學 物理與電子信息學院,昆明 650500)摘
PZT/Pt異質結構的快速熱處理研究
劉雨,郭杰,張超,歐全宏
(云南師范大學 物理與電子信息學院,昆明 650500)
摘 要采用射頻磁控濺射方法在PtTi薄膜電極上生長鐵電薄膜鋯鈦酸鉛Pb(Zr0.3Ti0.7)O(PZT)。在不同快速熱處理條件下對異質結構的晶體結構和表面形貌進行了研究,研究表明:襯底Si 和金屬Pt 分別沿(100)和(111)方向取向生長,而PZT 薄膜快速熱處理后晶粒沿(110) 方向取向生長,650℃退火后取向度最大,晶粒尺寸最大;700℃退火后(110)取向度減小,Pt 晶體取向導致PZT 晶核在其它晶向上產生;PZT 衍射峰強度和晶粒尺寸隨升溫速率減慢而顯著增大;400℃階梯式熱處理工藝后,(110)取向度明顯減小,晶粒相互吞噬成為橫向生長。
關鍵詞:Pb(Zr0.3Ti0.7)O;異質結構;快速熱處理;晶體結構;取向度
   PZT/Pt異質結構的快速熱處理研究.pdf

 
 
[ 學術論文搜索 ]  [ 加入收藏 ]  [ 告訴好友 ]  [ 打印本文 ]  [ 關閉窗口 ]

 

 
推薦圖文
推薦學術論文
點擊排行
 
 
高清偷窥中国女厕所嘘嘘_欧美免费全部免费观看_一本久久道本道久久爱